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前驅(qū)體的介紹

2025-06-05

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前驅(qū)體通常為高純度化合物（如金屬有機化合物、氫化物等）。它們在氣相沉積（CVD、ALD）等工藝中經(jīng)汽化、分解或反應(yīng)，在晶圓表面形成納米級薄膜（如金屬、氧化物、氮化物），是制造晶體管、互連結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵器件的核心材料，其純度和反應(yīng)可控性直接影響芯片性能與良率。

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