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大宗氣體的介紹

2025-06-05

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電子大宗氣體是半導(dǎo)體等電子信息產(chǎn)業(yè)中用量大、供應(yīng)連續(xù)的基礎(chǔ)性氣體，包括氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣等。它們?cè)谛酒圃斓某练e、刻蝕、清洗等環(huán)節(jié)不可或缺，純度要求極高（通常達(dá)99.99%以上），其穩(wěn)定供應(yīng)和質(zhì)量直接影響電子器件性能與生產(chǎn)效率，是電子信息產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐要素。

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