電子特種氣體廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板等行業(yè)中光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，對(duì)于純度、穩(wěn)定性、包裝容器等具有較高的要求。電子特種氣體生產(chǎn)涉及合成、純化、分析檢測(cè)、充裝等多項(xiàng)工藝技術(shù)，具有較高技術(shù)壁壘。

電子特種氣體是集成電路、顯示面板、半導(dǎo)體照明、光伏等行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性材料，是集成電路制造的第二大制造材料，僅次于硅片，占晶圓制造成本的 13%。電子特種氣體廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，對(duì)于純度、穩(wěn)定性、包裝容器等具有較高的要求。電子特種氣體生產(chǎn)涉及合成、純化、分析檢測(cè)、充裝等多項(xiàng)工藝技術(shù)，具有較高技術(shù)壁壘。

集成電路、顯示面板、光伏等行業(yè)所用電子特種氣體數(shù)量超過(guò)100種，國(guó)內(nèi)主要生產(chǎn)企業(yè)為中船特氣、華特氣體、南大光電等。國(guó)內(nèi)電子特種氣體企業(yè)整體發(fā)展時(shí)間較短，在產(chǎn)品種類、工藝水平、綜合服務(wù)能力等方面依然與林德、液化空氣、大陽(yáng)日酸和空氣化工等國(guó)際巨頭有差距，而且這種差距需要一定時(shí)間完成創(chuàng)新迭代。由于半導(dǎo)體產(chǎn)線上原材料純度和雜質(zhì)含量（ppm級(jí)甚至ppb級(jí)）細(xì)小的偏差可能造成整條產(chǎn)線的損失，客戶的試錯(cuò)成本很高，加大了國(guó)內(nèi)企業(yè)進(jìn)入新產(chǎn)品、新市場(chǎng)的難度。

電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，近年來(lái)得到國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部、國(guó)家稅務(wù)總局等部門(mén)相繼出臺(tái)一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動(dòng)了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術(shù)難關(guān)，逐步實(shí)現(xiàn)電子特種氣體產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代。